开始使用

应用场景

薄膜应用场景、行业映射与 TMM 能力边界

传递矩阵法(Transfer Matrix Method, TMM)用于计算平面分层薄膜的反射率、透射率、吸收率、光学相位、椭偏响应和深度分布量。传播结果可按波长、入射角与偏振状态展开。平台也支持层内偶极发光分析。

下表按应用对象列出设计目标、结果页和典型用途;文末补充行业映射与能力边界。

仿真类型

仿真类型光源适用对象支持结果
Propagation(传播)外部入射平面波光学镀膜、滤光片、吸收体、光伏、光电探测、计量与传感器件R / T / A、逐层吸收;反射 / 透射 / 吸收光谱与 CIE 颜色;扫描颜色的 L*a*b*、C*ab、h_ab 与 ΔE00;Ψ / Δ;反射 / 透射的 Phase、GD、GDD、DGD;电场、折射率、归一化能流与吸收密度的深度分布
Emission(发光)发光层内的偶极子OLED、QLED、PeLED 等平面发光器件功率耗散;原始 / 归一化发射光谱与角分布;CIE 发射颜色;峰值强度、峰值波长、包络 FWHM;上出光、下出光、衬底、波导、倏逝、吸收与非辐射七类通道;Purcell 因子、衰减速率增强、有效量子效率与寿命

结果页索引

简写结果页
R / T / A、逐层吸收基本光学结果
反射 / 透射 / 吸收光谱与颜色、L*a*b*、C*ab、h_ab、ΔE00光谱与颜色分析
Ψ / Δ椭偏结果
Phase / GD / GDD / DGD色散结果
电场 / 折射率 / 归一化能流 / 吸收密度深度分布结果
发光功率耗散功率耗散
发光光谱 / 角分布 / 归一化结果 / 峰值 / FWHM发光强度结果
发光颜色发光颜色结果
七类出光与损耗通道、Purcell / 量子效率 / 寿命发光模式结果

设计方法索引

设计方法适用任务操作入口
参数扫描判断参数敏感性与设计窗口扫描
目标优化搜索设计参数或拟合实测数据优化器

光学镀膜与滤光器件

减反 / 增透(Anti-Reflection)

场景设计目标结果页典型应用
单层增透单波长零反射R + 优化眼镜片、低端镜头
宽带增透 BBAR整段可见 / 近红外低反射R + 优化相机镜头、双筒望远镜、显示盖板
V-coating(窄带增透)激光线超低反射R + 角度 / 偏振激光腔内元件、单波长系统
光纤 / 腔面 AR端面零反射、抑制回光R + 角度光纤端面、半导体激光腔面
显示减反防眩低反射 + 中性色R + 光谱 / 颜色手机、触摸屏、车载显示

相关入门教程:第一次薄膜设计:从裸玻璃到宽带减反膜

高反射镜(High Reflector)

场景设计目标结果页典型应用
介质高反镜 / DBR阻带高反射R + 角度激光腔镜、滤光片基元、传感器
全向反射镜全角度、全偏振高反射R(角度,偏振)光纤包层、热屏蔽
激光高反镜 HR超高反射、低损耗R + 深度分布谐振腔后镜、高功率激光
金属增强 / 保护反射镜宽带高反射 + 保护层R(含金属层)成像反射镜、激光扫描振镜
微腔 / VCSEL 腔镜高反射 + 腔模调控R + 相位 / 场分布VCSEL、数据通信、光学传感

相关入门教程:用透明材料做镜子:设计 99% DBR 高反镜

相关案例:全向反射器

滤光片(Filters)

场景设计目标结果页典型应用
带通滤光片(Fabry–Pérot 腔)窄通带 + 带外强抑制T + 优化荧光检测、机器视觉、天文窄带成像
长波通 / 短波通边缘滤光片陡峭截止边T + 角度荧光显微(分离激发 / 发射)、激光合束
陷波 / 带阻滤光片单波段强抑制T拉曼光谱(抑制激光线)、激光防护镜
窄带 / 密集滤光片极窄通带 + 隔离T + 优化光通信解复用、激光线净化
多波段 / 多通带滤光片多个独立通带T + 优化荧光显微镜(多色同时成像)、多激光线系统
Rugate 渐变折射率滤光片平滑折射率消旁瓣多层近似 + T激光防护、低旁瓣陷波

相关入门教程:用两面镜子选出一种颜色:Fabry–Pérot 窄带滤光片
膜厚偏差会怎样改变滤光片:Fabry–Pérot 灵敏度分析
Fabry–Pérot 滤光片对短脉冲的影响:相位、延迟与展宽

分光、偏振与衰减

场景设计目标结果页典型应用
二向色分光 / 合光按波段反射 / 透射R / T + 角度投影仪 RGB 合光、荧光分光、激光合束
谐波分离器分离倍频波长R / T 多波长1064 / 532 / 355 nm 倍频激光
分光比分束固定 R∶TR / T干涉仪、激光功率取样、相机取景
偏振分束器(MacNeille)分离 TE / TMR / T(偏振)+ 角度投影显示、偏振成像、量子光学
薄膜偏振器偏振选择R / T(偏振)激光偏振控制、椭偏仪
中性密度滤镜 ND(薄膜型)全波段平坦衰减R / T / A相机曝光控制、激光功率衰减、HDR 标定

相关入门教程:把蓝绿光和红光分开:设计 45° 二向色分光镜层数越多越好吗:比较二向色分光镜的性能与结构代价让一束光各走一半:设计 45° 50/50 介质分束镜

光伏、探测与发光器件

吸收体 / 光热

场景设计目标结果页典型应用
超薄强吸收干涉涂层极薄膜近完美吸收A + 层吸收装饰色、彩色不锈钢、传感
宽带 / 完美吸收体整段高吸收A + 优化探测器黑化、杂散光抑制
太阳能选择性吸收涂层可见高吸收、红外低发射A(分波段)+ 角度光热发电集热器、太阳能热水
相干完美吸收(CPA)双侧入射全吸收A + 深度分布光调制器、光开关
探测器吸收增强活性层吸收最大化深度分布(逐层 / 深度吸收)光电探测器、图像传感器

相关案例:超薄高吸收干涉涂层

太阳能光伏光学

场景设计目标结果页典型应用
电池光学建模各层吸收、短路电流光学上限、量子效率光学部分层吸收 + 吸收密度钙钛矿 / 硅 / CIGS 电池设计
陷光 / 背反射 / 减反叠层活性层吸收最大化A + 优化电池效率提升

相关入门教程:光被哪一层吸收:分析并优化 a-Si 薄膜太阳能电池
优化后的 a-Si 为什么吸收更多光:分析电场、能流与吸收密度

发光器件出光(Emission)

场景设计目标结果页典型应用
OLED 出光效率 / 微腔调控外量子效率、出光增强EmissionOLED 显示与照明
Purcell 增强 / 自发辐射调控辐射速率、模式分配Emission(功率耗散)量子点、单光子源
顶 / 底发射色彩与视角角度依赖光谱与色偏Emission + 角度OLED 电视 / 手机屏视角色偏
micro-LED / QLED 出光偶极位置 / 取向优化出光Emissionmicro-LED、QLED 显示

相关案例:

结构色、热管理与光学传感

结构色与外观

场景设计目标结果页典型应用
结构色 / Fabry–Pérot 彩色指定反射 / 透射颜色光谱 / 颜色装饰、彩色光伏
角度色移防伪颜色随视角变化光谱 / 颜色 + 角度扫描钞票、证件、品牌防伪

相关入门教程:用两面镜子选出一种颜色:Fabry–Pérot 窄带滤光片

相关案例:超薄高吸收干涉涂层

节能与热辐射管理

场景设计目标结果页典型应用
Low-E 镀膜玻璃可见高透 + 红外高反射T / R(可见–红外)建筑节能窗、汽车玻璃
智能窗 / 热致变色(VO₂)随温切换太阳 / 红外调制R / T(两种材料态对比)自适应节能窗
辐射制冷膜太阳波段高反射 + 大气窗口高发射R / T / A 宽谱 + 优化建筑 / 车辆被动降温
红外伪装特定红外波段低发射率A / 发射率(分波段)红外隐身、热管理

传感与计量

场景设计目标结果页典型应用
SPR 表面等离激元传感共振角 / 波长对折射率敏感R(角度,TM)+ 金属层生物传感、药物筛选、食品安全
Tamm 等离激元金属–DBR 界面局域态R + 深度分布窄带热发射、传感
椭偏建模与反演Ψ / Δ 拟合膜厚与光学常数Ψ / Δ + 优化半导体 / 镀膜膜厚计量
反射 / 透射光谱反演由 R / T 反求膜厚与 n, kR / T + 优化镀膜质检、白光膜厚仪
镀膜在线光学监控监控波长终点判据单波长 R / T 随厚度镀膜机终点控制

相关入门教程:Ψ 和 Δ 如何辨认薄膜变化:椭偏测量入门

激光与超快光学

场景设计目标结果页典型应用
啁啾镜 / 色散补偿镜控制群延迟色散 GDD色散(相位 / GDD)飞秒激光脉冲压缩
标准具 Etalon周期性透射峰T + 相位激光选模、波长锁定、光谱仪
抗损伤镜场设计把场强峰值移出敏感层深度分布(电场)高功率 / 聚变激光,提高损伤阈值
EUV / X 射线多层镜极短波长高反射R(短波多层)EUV 光刻光学、同步辐射、X 射线望远镜

相关入门教程:Fabry–Pérot 滤光片对短脉冲的影响:相位、延迟与展宽

行业映射:半导体 / 光通信 / 激光

三大行业的常见薄膜结构里,绝大多数是 TMM 正解;少数本质是横向光栅或分布反馈,需要 RCWA 或耦合模理论,本工具不覆盖。下表逐项给出判定。

半导体

行业结构是否 TMM 范畴结果页 / 说明
光刻反射控制 ARC / BARC / TARC✅ 是R + 深度分布;衬底反射最小化与吸收设计
驻波 Standing Wave✅ 是深度分布(光阻内电场分布)
摆动曲线 Swing Curve✅ 是扫描 + R(反射率 / 线宽随光阻厚度)
EUV 掩模 Mo/Si 多层(坯片反射)✅ 是R(一维多层反射率)
Scatterometry 参考膜栈 / Background✅ 是R(无图形参考膜栈反射)
CMP 膜厚检测(反演 Thickness, n, k)✅ 是R / T + 优化(正演 TMM + 反演拟合)
椭偏仪(正演 + 反演)✅ 是Ψ / Δ + 优化
白光膜厚仪✅ 是R + 优化
Scatterometry 严格 CD / Overlay❌ 否周期衍射,需 RCWA
EUV 含图形掩模衍射❌ 否图形掩模成像,需 RCWA / FDTD

光通信

行业结构是否 TMM 范畴结果页 / 说明
DWDM 滤光片(100 / 50 GHz、密集)✅ 是T + 优化(多腔 Fabry–Pérot 窄带)
CWDM 滤光片✅ 是T
WDM 合 / 分波薄膜✅ 是T / R
光纤端面膜 / 光纤 AR✅ 是R + 角度
激光器端面 AR / HR✅ 是R
VCSEL 反射镜(DBR)✅ 是R + 场分布
Fiber Bragg 光栅本体❌ 否纵向光栅,耦合模理论(非薄膜 TMM)
DFB 腔体(分布反馈光栅)❌ 否光栅反馈,耦合模 / RCWA
Fiber Bragg 光栅与 DFB 在文献里也叫「transfer matrix」,但那是沿传播方向分段的耦合模传输矩阵,与本工具的分层薄膜 TMM 不同。它们的端面 AR / HR 与 VCSEL 的 DBR 反射镜属于薄膜 TMM,光栅本体不属于。

激光

激光行业的薄膜结构全部在 TMM 范畴内。

行业结构是否 TMM 范畴结果页 / 说明
激光高反镜 HR✅ 是R + 深度分布
输出耦合镜 OC(95 / 98 / 99 %)✅ 是R + 优化(精确反射率目标)
布儒斯特窗 AR✅ 是R(角度,偏振)
激光保护镜✅ 是R / A
谐波分离滤光片(1064 / 532 / 355 nm)✅ 是R / T 多波长
偏振薄膜 Polarizer✅ 是R / T(偏振)+ 角度
高功率镜抗损伤设计✅ 是深度分布(电场峰值定位)

能力边界

以下情形超出一维薄膜 TMM,需要其他方法,不应作为本工具的案例立项:
  • 横向周期结构:严格 Scatterometry CD / Overlay、含图形 EUV 掩模、光栅、超表面、二维 / 三维光子晶体 → 需 RCWA / FDTD。
  • 纵向光栅反馈:Fiber Bragg 光栅本体、DFB 腔光栅 → 需耦合模理论。
  • 散射与随机结构:表面粗糙度、颗粒散射、非平面界面。
  • 非线性光学、器件电学输运(仅给出光学吸收,不计载流子)、衍射成像
  • 体材料衰减:吸收型染料玻璃 ND、滤色玻璃属于 Beer–Lambert 体衰减,非镀膜堆栈。

下一步

延伸阅读

外部权威资料,供深入物理原理与设计方法。

方法与基础

镀膜类型

计量与传感

发光与光伏

热管理与超快

半导体光刻

更多按设计目标分组的权威设计指南(增透、反射镜、滤光、分光偏振、色散、材料数据等),见 结构设计指南 的「外部学习资源」。

Copyright © 2026 Dreapex