让一束光各走一半:设计 45° 50/50 介质分束镜
这篇教程设计一个用于 633 nm 激光的 45° 介质分束镜,使反射光和透射光的功率接近 50/50。这类器件用于干涉仪、激光测量和双通道成像;直观上,表面镀膜会重新分配反射与透射的光功率,让一束光沿两个方向输出。
你将把指定反射率写成优化目标,并用 R/T/A、s/p 偏振和角度扫描判断设计的适用范围。


示意图中的一束入射光在分光面分成反射与透射两个方向;本教程的 50/50 指两路输出功率相等。
把器件要求写成数字
| 项目 | 教学规格 |
|---|---|
| 设计波长 | 633 nm |
| 入射角 | 45° |
| 设计偏振 | 未偏振,pRatio=0.5 |
| 功率目标 | 、 |
| 允许误差 | $ |
| 追加验收 | s/p 偏振、0–60° 角度扫描、能量守恒 |
无损结构满足
式中,、 和 分别为反射、透射和吸收的功率比例。本教程中的材料均设为无吸收,因此 ;只要在设计点实现 ,便同时有 。
软件用 表示 p 偏振的功率占比,即 pRatio。混合偏振反射率为
式中, 和 分别为纯 s、纯 p 偏振反射率, 的范围为 0–1; 表示两种偏振等功率混合。透射率使用同样的加权方式。
用三层膜调节反射振幅
结构为 Air / TiO₂ / SiO₂ / TiO₂ / BK7 / Air。BK7 基底厚 1 mm,并设为非相干层。
| 膜层 | 折射率 | 初始厚度 | 状态 |
|---|---|---|---|
| TiO₂ Top | 2.45 | 30 nm | 优化变量 |
| SiO₂ Mid | 1.46 | 50 nm | 固定 |
| TiO₂ Inner | 2.45 | 30 nm | 优化变量 |
| BK7 Substrate | 1.52 | 1 mm | 非相干、固定 |

第 层在斜入射下的单程相位厚度为
式中, 为第 层的相位厚度, 为折射率, 为物理厚度, 为层内传播角, 为真空波长。两层 TiO₂ 位于不同的光学环境中,因此分别设为变量,不强制使用相同厚度。
本教程用常数折射率建立易复算模型。实际器件需要换成材料的波长相关 n、k 数据。
运行基线
在 Optics 中设置 400–900 nm、1 nm 步长、45°、pRatio=0.5,并启用 Reflectance、Transmittance 和 Absorptance。宽波段用于观察光谱,优化目标只使用 633 nm。

初始结构在 633 nm 处的 、,更接近增透结构,还没有实现均分。

把 50% 反射率写成优化目标
在 Optimizer 中设置一个指定值目标:633 nm、45°、pRatio=0.5 时,使 Reflectance 接近 0.5。只调整两层 TiO₂:
基线计算使用 Structure 中的 30 nm 实际厚度。进入优化阶段后,将两个变量的 Initial Value 设为 60 nm;这个值是未启用 Grid 时的局部搜索起点,不会改写已经记录的基线结果。本次启用 Grid 后,软件改用网格候选作为起点。
| 变量 | 最小值 | 起点 | 最大值 |
|---|---|---|---|
| TiO₂ Top | 15 nm | 60 nm | 150 nm |
| TiO₂ Inner | 15 nm | 60 nm | 150 nm |
算法使用 TRF,最多 120 次评估;启用 7 × 7 Grid,并让最好的 3 个起点进入局部优化。


本次优化经过 53 次目标评估和 27 次迭代,得到:
- TiO₂ Top:82.912 nm;
- TiO₂ Inner:60.967 nm;
- 633 nm 未偏振反射率:49.9986%。
点击 Apply to Structure,再返回 Structure 确认两个厚度已经更新。


验收 50/50 功率分配
应用最优厚度后重新运行正向计算。
| 设计 | 与 50% 的偏差 | |||
|---|---|---|---|---|
| 初始 | 12.8832% | 87.1168% | 0 | 37.1168 个百分点 |
| 优化后 | 49.9986% | 50.0014% | 0 | 0.0014 个百分点 |

设计点通过了 ±1 个百分点的规格,能量闭合误差为 。
未偏振 50/50 不等于非偏振分束镜
保持 633 nm 和 45° 不变,把 pRatio 分别改为 0 和 1。
先把 pRatio 设为 0,确认界面显示 s 偏振 100%,运行后读取反射率。


再把 pRatio 设为 1,确认界面显示 p 偏振 100%,重新运行同一结构。


| 偏振 | 与 50% 的偏差 | ||
|---|---|---|---|
| s | 66.9115% | 33.0885% | 16.9115 个百分点 |
| p | 33.0858% | 66.9142% | 16.9142 个百分点 |
| 未偏振平均 | 49.9986% | 50.0014% | 0.0014 个百分点 |
未偏振结果接近 50%,是因为 s 偏振高于 50%、p 偏振低于 50%,两者平均后相互抵消。这个结构是未偏振平均意义上的 50/50 分束镜,不是非偏振分束镜。
若应用要求任意线偏振都接近 50/50,应分别建立 s 与 p 的目标,并增加膜层或释放更多独立厚度变量。
用角度扫描确定适用范围
把波长固定为 633 nm,在 Sweep 中扫描 0–60°,步长 5°,保持 pRatio=0.5。

运行 Sweep 后,反射率会随角度从约 57% 逐渐降到约 45%,并在 45° 附近穿过 50%。

| 入射角 | 与 50% 的偏差 | ||
|---|---|---|---|
| 0° | 57.232% | 42.768% | 7.232 个百分点 |
| 30° | 54.370% | 45.630% | 4.370 个百分点 |
| 40° | 51.697% | 48.303% | 1.697 个百分点 |
| 45° | 49.999% | 50.001% | 0.001 个百分点 |
| 50° | 48.145% | 51.855% | 1.855 个百分点 |
| 60° | 44.801% | 55.199% | 5.199 个百分点 |
5° 粗扫中只有 45° 采样点满足 ±1 个百分点的规格。这个结果不能给出连续的角度容差;若要确定合格区间,应在 45° 附近改用 1° 或更小步长。
设计边界
当前结构满足 633 nm、45°、未偏振条件下的 50/50 功率分配,但没有同时解决宽波段、宽角度、任意偏振或相位要求。
| 应用要求 | 需要增加的设计条件 |
|---|---|
| 非偏振分光 | 分别约束 s 和 p |
| 宽角度分光 | 在多个入射角建立目标 |
| 宽波段分光 | 把单波长目标改为目标波段 |
| 实际玻璃片 | 使用真实色散,并加入后表面或楔角模型 |
| 干涉仪 | 继续检查反射、透射相位与两臂光程 |
变化题
把角度扫描改为 40–50°、步长 1°,结构和波长保持不变。找出满足 个百分点的连续角度区间,并与 5° 粗扫得到的结论比较。