在两面镜子之间选出一种颜色:Fabry–Pérot 窄带滤光片

用两面镜像对称 DBR 和半波腔构造 550 nm 窄带透射峰,并以峰值、FWHM 与 Q 因子验收

这篇教程用两面 DBR 夹住一层透明腔层,在 550 nm 附近做出窄带透射峰。你将学会处理镜像层序、计算腔层厚度,并用峰值、FWHM 和 Q 因子检查滤光片。

阅读前提:建议先完成用透明材料做镜子:设计 99% DBR 高反镜,熟悉周期层、Repeat Count 和反射光谱。
如果你已经熟悉 Fabry–Pérot 腔和 FWHM / Q 因子,可跳过基础推导,直接进入层序配置和结果验收。

半波腔的谐振条件

法向入射时,腔层的基本谐振条件为

2ncdc=mλ0.2n_cd_c=m\lambda_0 .

式中,ncn_c 为腔层折射率,dcd_c 为腔层物理厚度,mm 为正整数谐振级次,λ0\lambda_0 为真空谐振波长。选用 MgF₂ 腔、nc=1.38n_c=1.38m=1m=1λ0=550 nm\lambda_0=550\ \mathrm{nm},得到

dc=550 nm2×1.38=199.28 nm.d_c=\frac{550\ \mathrm{nm}}{2\times1.38}=199.28\ \mathrm{nm}.

这个厚度是半波光学厚度。两面 DBR 会额外贡献反射相位,但对本教程的对称四分之一波结构,199.28 nm 正好把透射峰放在 550 nm。

镜像对称的层序

从空气侧到玻璃基底建立以下结构:

区域层序重复次数
前镜MgF₂ 99.64 nm / TiO₂ 56.12 nm4
腔层MgF₂ 199.28 nm1
后镜TiO₂ 56.12 nm / MgF₂ 99.64 nm4
基底玻璃 1 mm,非相干1

前镜从低折射率层开始、到高折射率层结束;后镜从高折射率层开始、到低折射率层结束。两面镜子朝向腔层的一侧都是 TiO₂,因此整体关于腔中心镜像对称。

Fabry-Perot 窄带滤光片的 Structure 页面,显示两面镜像对称四对 DBR 和中间 MgF2 腔层
图 1|`Structure` 页中的对称 DBR—腔—DBR 结构

点击前镜的 Edit Group,确认层序为 MgF₂ 99.64 nm → TiO₂ 56.12 nm,Repeat Count 为 4。

Fabry-Perot 前镜的 Edit Layer Group 对话框,显示四次重复的 MgF2 TiO2 层序
图 2|前镜 `Edit Group` 中的 MgF₂/TiO₂ 周期单元

再打开后镜的 Edit Group,确认层序反转为 TiO₂ 56.12 nm → MgF₂ 99.64 nm,Repeat Count 同样为 4。

Fabry-Perot 后镜的 Edit Layer Group 对话框,显示四次重复的 TiO2 MgF2 层序
图 3|后镜 `Edit Group` 中的 TiO₂/MgF₂ 周期单元
不要把同一个「MgF₂ / TiO₂」层组原样复制到腔层两侧。两面镜子的方向必须互为镜像;否则目标波长处的反射相位不匹配,550 nm 透射峰可能被显著压低。

使用细波长步长

Optics 页设置 450–700 nm、0.25 nm 步长、0° 入射和未偏振光,并启用 ReflectanceTransmittance。DBR 教程中的 1 nm 步长只能粗略看见此处约 3.6 nm 宽的峰,0.25 nm 能提供更可靠的峰值和半高全宽估计。

Fabry-Perot 滤光片的 Optics 页面,显示 450 到 700 nm 和 0.25 nm 波长步长
图 4|窄带滤光片的 `Optics` 设置

运行并识别腔模

在反射率结果中,DBR 的宽高反射带仍然存在,但 550 nm 附近出现一个狭窄反射谷。这个谷不是镜面失效,而是腔谐振把能量送到透射端。

Fabry-Perot 滤光片的反射率结果页,显示 DBR 阻带中的窄反射谷
图 5|DBR 阻带中的 `Reflectance` 谐振谷

透射率在 550.00 nm 达到 95.742%。损耗为零时,反射谷与透射峰严格互补,仍满足 R+T=1R+T=1

Fabry-Perot 滤光片的透射率结果页,显示 550 nm 窄带透射峰
图 6|550 nm 附近的 `Transmittance` 谐振峰

用 FWHM 和 Q 因子验收

半高全宽(Full Width at Half Maximum,FWHM)是透射率下降到峰值一半时,两侧交点之间的波长差。本次结果使用相邻采样点线性插值得到左交点 548.194 nm、右交点 551.817 nm,因此

Δλ=λRλL=3.623 nm.\Delta\lambda=\lambda_R-\lambda_L=3.623\ \mathrm{nm}.

式中,Δλ\Delta\lambda 为 FWHM,λL\lambda_LλR\lambda_R 分别为透射峰左、右半高交点波长。品质因子定义为

Q=λpeakΔλ=151.8,Q=\frac{\lambda_{\mathrm{peak}}}{\Delta\lambda}=151.8,

其中,QQ 为无量纲品质因子,λpeak=550.00 nm\lambda_{\mathrm{peak}}=550.00\ \mathrm{nm} 为峰值波长,Δλ\Delta\lambda 为上述半高全宽。QQ 越高,峰相对于中心波长越窄。

550 nm Fabry-Perot 透射峰及左右半高交点示意图
图 7|透射峰、半高交点与 FWHM
指标结果本教程判断
峰值波长550.00 nm命中设计波长
峰值透射率95.742%目标颜色高透射
FWHM3.623 nm形成窄带选择
Q 因子151.8与峰宽计算一致

把腔厚设为唯一变量,范围 170–230 nm,并最大化 550 nm 透射率,数值优化在 26 次计算后仍返回 199.28 nm。这是对半波公式的独立验证:当材料、层序与目标波长固定时,解析起点已经位于该单变量问题的最优位置。

常见错误与处理顺序

现象高概率原因处理
550 nm 附近没有窄透射峰两面 DBR 使用了相同方向从腔层向外核对两侧层序是否镜像
峰位偏离 550 nm腔厚或腔折射率错误先复算 2ncdc=λ02n_cd_c=\lambda_0
峰只有一两个采样点波长步长过大把步长从 1 nm 缩小到 0.25 nm 或更细
峰位正确但线宽不符合要求DBR 周期数不合适增减两侧相同的周期数,并保持结构对称

实际窄带滤光片还应验证入射角引起的峰位漂移、材料吸收和两侧镜面不对称。


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