用透明材料做镜子:设计 99% DBR 高反镜

用 MgF₂/TiO₂ 四分之一波周期结构观察相长干涉、阻带形成和膜层对数对反射率的影响

这篇教程把减反膜中的相消干涉换成相长干涉,用 MgF₂/TiO₂ 周期层搭建 99% DBR 高反镜。你将学会用 Layer Group 设置周期、修改 Repeat Count,并用中心反射率和阻带检查结果。

阅读前提:建议先完成第一次薄膜设计:从裸玻璃到宽带减反膜,熟悉四分之一波厚度、结构配置和 R/T 光谱。
如果你已经熟悉四分之一波周期结构和 Layer Group,可跳过基础推导,直接进入结构搭建和周期数比较。

四分之一波周期

设计波长仍取 λ0=550 nm\lambda_0=550\ \mathrm{nm}。每层的四分之一波物理厚度为

di=λ04ni.d_i=\frac{\lambda_0}{4n_i} .

式中,did_i 为第 ii 种材料的物理厚度,nin_i 为该材料折射率,λ0\lambda_0 为真空设计波长。代入 nH=2.45n_H=2.45nL=1.38n_L=1.38,得到高折射率 TiO₂ 层 dH=56.12 nmd_H=56.12\ \mathrm{nm}、低折射率 MgF₂ 层 dL=99.64 nmd_L=99.64\ \mathrm{nm}

从空气侧开始使用 (HL)N(HL)^N 层序,即「TiO₂ / MgF₂」重复 NN 次。在设计波长处,每个界面的主要反射分量以近似相同相位返回。理想四分之一波中心反射率可写为

R0=[ns(nH/nL)2Nn0ns(nH/nL)2N+n0]2.R_0=\left[\frac{n_s(n_H/n_L)^{2N}-n_0}{n_s(n_H/n_L)^{2N}+n_0}\right]^2 .

式中,R0R_0λ0\lambda_0 处的功率反射率,n0n_0 为空气折射率,nsn_s 为玻璃基底折射率,nHn_HnLn_L 分别为高、低折射率材料的折射率,NN 为周期对数。折射率比 nH/nLn_H/n_L 大于 1,指数 2N2N 使反射率随周期数快速接近 1。

建立五对 DBR

Structure 页添加一个 Layer Group,组内先放 56.12 nm TiO₂,再放 99.64 nm MgF₂,并把 Repeat Count 设为 5。层组下方使用 1 mm 非相干玻璃基底,底部介质折射率设为 1.52。

五对 TiO2 MgF2 分布式布拉格反射镜的 Structure 页面
图 1|`Structure` 页中的五对 TiO₂/MgF₂ DBR

点击 Edit Group 打开周期单元,确认组内第一层为 56.12 nm TiO₂、第二层为 99.64 nm MgF₂,Repeat Count 为 5。

DBR 的 Edit Layer Group 对话框,显示五次重复的 TiO2 MgF2 周期单元、厚度与折射率
图 2|`Edit Group` 中的 TiO₂/MgF₂ 周期单元

Layer Group 让周期单元只输入一次。后续比较 N=1N=1N=5N=5 时,只需修改 Repeat Count,无需手工复制和删除十层结构。

Optics 页设置 400–900 nm、1 nm 步长、0° 入射、未偏振光,并启用 ReflectanceTransmittance。较宽的波长范围可以同时看见中心高反射带与两侧透射区。

DBR 的 Optics 页面,显示 400 到 900 nm、法向入射以及反射透射探测器
图 3|DBR 的 `Optics` 波长、入射光与探测器设置

运行与判断高反射带

五对结构在 550 nm 的反射率为 99.158%。以 R99%R\ge99\% 为本教程的高反射判据,连续高反射带为 523–580 nm。设计波长位于该带内部,但阻带的形状并不要求相对 550 nm 完全对称,因为入射介质和玻璃基底的折射率不同。

五对 DBR 的反射率结果页,显示 550 nm 附近的高反射阻带
图 4|五对 DBR 的 `Reflectance` 结果

透射率在同一波段下降。材料均无吸收,因此每个波长都应满足 R+T=1R+T=1;本次计算的最大数值误差约为 4.7×10154.7\times10^{-15}

五对 DBR 的透射率结果页,显示高反射带对应的低透射区
图 5|五对 DBR 的 `Transmittance` 结果

改变周期数

Repeat Count 依次改为 1、2、3、4、5,每次运行后记录 550 nm 反射率。其他设置必须保持不变,这样曲线变化才能归因于周期数。

DBR 中心反射率随 TiO2 MgF2 周期对数增加的曲线
图 6|550 nm 反射率随 DBR 周期对数的增长
周期对数 NN总膜层数550 nm 反射率
1242.854%
2476.699%
3691.938%
4897.369%
51099.158%

结果体现两个设计规律:增加周期数会显著提高中心反射率,但收益逐步减小;高反射率还不等于高反射带足够宽,器件规格必须同时给出反射率阈值和波长范围。

常见错误与处理顺序

现象高概率原因处理
高反射带不在 550 nm 附近H 或 L 的厚度没有按本篇折射率计算分别复算 dHd_HdLd_L,不要把两个厚度互换
增加周期数后曲线不变复制了普通层但修改的是未使用的层组展开最终层序,确认参与计算的 Repeat Count
反射峰有大量细纹玻璃基底设为相干层把毫米级基底设为非相干层
R+TR+T 明显偏离 1材料含吸收或边界条件不一致先检查各层 kk,再核对顶部与底部介质

实际 DBR 还需要用色散数据检查阻带中心漂移,并评估入射角、偏振和膜厚误差。


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