理论

深度分布量

深度方向的能流、吸收与电场量

深度分布描述能流、吸收与电场等量在膜厚方向上的分布,可用于识别驻波位置、局部吸收峰和层内场增强区域。

本章范围

重点对应结果页
Poynting Vector能流沿厚度方向的分布深度分布结果
Absorption Density局部耗散的位置深度分布结果
Electric Field场强、相位与分量随深度的变化深度分布结果
数据结构波长与深度二维矩阵的组织方式深度分布结果

深度分布的共同数据结构

软件将深度分布结果统一组织为沿深度展开后的矩阵数据。

数据项当前结构物理含义
depth_point_list一维数组全局深度坐标,单位为 nm
layer_info_list每层的起止深度信息用于在图中标记层边界
各类深度矩阵典型为 [wavelength_index][depth_index]表示每个波长下沿深度方向的分布
电场复数值Ex / Ey / Ez[real, imag] 形式存储用于派生幅值和相位显示

读图时区分两个维度:

  1. 横向或纵向的“波长维度”;
  2. 膜厚方向的“深度维度”。

热图与表格是同一组二维数据的不同视图;sweep 结果在此基础上再增加参数组合维度。

Poynting Vector:能流穿过膜系

Poynting Vector 页面显示的是归一化后的法向(z 方向)能流分量。

判读要点工程用途
数值高的区域表示该位置的净能流更强判断能量的主要传输路径
随深度持续衰减,通常表示存在明显吸收快速识别能量损耗位置
在界面附近出现明显起伏,通常与干涉和驻波有关判断界面反射与场重分布是否强烈

可用于判断:

  1. 光能是否进入更深位置;
  2. 能量是否主要在前部被反射或耗散。

Absorption Density:局部耗散位置

Absorption Density 描述单位体积内的局部吸收强度。它用于定位局部耗散区域;对应总量时,应与 基本光学结果 中的 Layer Absorption 联合查看。

判读要点工程用途
峰值位置对应局部吸收最强的区域定位有效吸收层或寄生吸收层
若高值集中在本应透明的层,通常是材料参数或层序有误排查折射率文件和结构定义
Poynting Vector 联合观察时,可区分“能量通过”与“能量耗散”判断器件是传输受限还是吸收受限

在吸收型器件中,这个量可直接判断吸收是否落在目标层。

Electric Field:场强、相位与分量

Electric Field 页面包含分量、幅值和相位信息。

视图当前数据主要信息
分量ExEyEz哪个方向的场分量占主导
幅值由复数分量派生出的 Magnitude场增强出现在哪些位置
相位Ex_phaseEy_phaseEz_phase驻波节点、相位跃迁和相干行为

三种视图的主要信息如下:

  1. Magnitude:定位场增强区域;
  2. Component:判断主导分量;
  3. 相位:判断节点、相位翻转和驻波结构。

分辨率与数据量阈值

深度分布最常见的问题是数据量过大。前端对这类数据设置了明确阈值。

项目当前阈值作用
表格最大行数500,000超过后直接阻止表格渲染
2D 图表最大点数500,000超过后会阻止或降级图表渲染
scatter3D 最大点数80,0003D 模式的更严格上限
图表性能优化阈值100,000超过后关闭平滑、动画和密集点标记等开销项

Depth Resolution 越小,深度点越多;总厚度越大,深度点也越多。因此:

  1. 细分辨率并不总是更好,只是更密;
  2. 厚基底若仍保持全相干,数据量会急剧增加;
  3. 在 sweep 下,数据规模会进一步乘上参数组合数。

场相关探测器要求结构全相干

场相关探测器依赖相干场分布,要求结构保持全相干;Refractive Index 只展开结构本身,不要求全相干。

探测器是否要求全相干原因
Poynting Vector依赖相干场分布
Absorption Density依赖相干场与局部耗散计算
Electric Field直接依赖场分量与相位
Refractive Index只是结构本身的深度展开,不依赖相干场求解

只核对结构展开时,可用 Refractive Index;查看真实场和能流时,结构必须保持相干。

分析顺序

深度分布分析顺序如下:

  1. Poynting Vector:确认能量是否进入目标层。
  2. Absorption Density:定位能量的局部耗散位置。
  3. Electric Field:解释场增强、驻波节点和分量差异。
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