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光学参数

求解参数、光谱设置与计算前校验

Optics 页面定义照明条件、求解范围和输出目标。本章覆盖四个方面:

  1. 波长模式、波长采样、入射角、偏振比与锥角平均的设置规则;
  2. 基础探测器、入射光谱、颜色、椭偏、深度分布和色散探测器的启用条件;
  3. 色散数值质量和插值建议的配置;
  4. 点击 Run 前最常见的参数冲突与校验边界。

页面结构与配置顺序

Optics 页面可按职责分为六个部分:

区域主要内容作用
Common Parameters波长模式、波长输入、入射角、偏振比定义所有计算的基本照明条件
Cone Angle锥角半角、分布、环数对入射角锥体进行平均
R · T · A基础探测器与入射光谱设置定义最常用的能量结果与光谱加权
EllipsometryPsiDelta定义椭偏结果输出
Depth Distribution深度探测器与深度分辨率定义厚度方向的场量与能流输出
DispersionPhase、GD、GDD、DGD定义色散相关输出(仅限 Sweep 模式)

推荐采用以下顺序配置:

  1. 先确定波长模式。
  2. 再填写波长参数。
  3. 再设置入射角与偏振比。
  4. 如需锥角平均,启用并配置 Cone Angle。
  5. 再根据目标结果选择探测器。
  6. 只有在确实需要时,再开启入射光谱、颜色计算、深度分辨率或色散探测器。
  7. 最后检查底部状态栏,确认参数通过验证后再运行。

这样做的原因是:本页大部分约束都属于“波长模式 + 探测器 + 当前结构”的耦合约束。先固定模式,再选择结果类型,返工最少。

基本照明条件:波长、角度与偏振

Common Parameters 是本页的基础控制区。这里的设置会直接影响后续哪些探测器可用、哪些附加设置会被禁用。

波长模式与采样规则

三种波长模式的差异如下:

模式计算方式适用场景关键限制
Single只计算一个波长点快速检查某一固定波长不提供入射光谱加权
Sweep在区间内逐点扫描常规光谱、颜色、椭偏、深度分布最常用,也是大多数结果页的标准模式
Average在区间内计算平均结果区间平均性能筛选禁用椭偏与整组深度分布探测器

对应的输入规则是:

模式输入项规则
SingleSingle Wavelength必须是大于 0 的有效数值
Sweep / AverageFromToStepFrom > 0To > FromStep > 0

工程上可按以下方式使用:

  1. 只想快速验证一个固定工作点时,使用 Single
  2. 需要标准频谱输出时,使用 Sweep
  3. 只关心区间平均表现而不关心曲线细节时,使用 Average

对初次建模而言,Sweep 仍是最稳妥的默认模式。

入射角与偏振比

入射角与 pRatio 决定了光以何种方向和偏振状态照射当前结构。两者都由滑块和数值输入框共同控制,修改任意一端都会同步更新另一端。

参数物理含义当前规则使用建议
Incident Angle入射角度0° ~ 89.99°初次计算先用 ,再逐步提高做角度敏感性分析
pRatiop 偏振占比0 ~ 10 = s0.5 = 非偏振1 = p

若没有明确偏振需求,pRatio = 0.5 是最稳妥的基线设置。

锥角平均(Cone Angle)

Cone Angle 区域在当前 Incident Angle 的基础上,对一个入射角锥体内的结果取加权平均。适用于模拟有限角展(聚焦光束或具有特定数值孔径的透镜收集光)的场景。

输入模式

锥角半角可通过三种等价方式输入:

输入模式符号换算关系范围
Half-angleα直接输入角度值(°)0 ~ 89.9°
F/#F/#α = arctan(1 / (2 × F/#))正数
NANAα = arcsin(NA)0 ~ 1

三种模式设置的是同一个底层半角参数,只是输入表示不同。

分布与环数

参数选项 / 范围说明
DistributionUniformLambertian锥体内部的角度权重
Ring Count2 ~ 20(整数)中心射线周围的径向环数

实际射线数为 1 + 12 × ringCount。例如,默认 ringCount = 10 使用 121 条射线。

必须满足约束 incidentAngle + halfAngleDeg < 89.9°。若总和达到或超过 89.9°,需减小入射角或半角。

锥角平均的作用范围

锥角平均仅影响以下探测器和衍生输出:

  • RTALayer Absorption
  • 入射光谱加权后的光谱
  • 可见颜色计算

其余探测器(Ellipsometry、Depth Distribution、Dispersion)仍使用单一 Incident Angle 值进行计算。

基础探测器、入射光谱与颜色计算

R · T · A 面板负责最常用的频谱输出,同时也是入射光谱和颜色计算的前置区域。

基础探测器

基础探测器包括以下四项:

探测器对应结果作用
RReflectance输出反射率
TTransmittance输出透射率
AAbsorptance输出总吸收率
Layer AbsorptionLayer Absorption输出各层吸收贡献

使用建议如下:

  1. 第一次计算通常至少保留 RTA
  2. 需要定位哪一层主导吸收时,再启用 Layer Absorption
  3. 如果当前只关心某一类结果,没有必要长期保持全选。

入射光谱的启用条件

入射光谱会对基础探测器结果施加光谱权重。它只有在以下两个条件同时满足时才允许启用:

  1. 当前波长模式不是 Single
  2. 至少启用了一个基础探测器(RTALayer Absorption)。

只要任一条件不满足,入射光谱开关就会被禁用或隐藏。

入射光谱来源与文件要求

可选光谱源如下:

来源适用场景备注
Illuminant A暖色标准光源参考适合标准化对比
Illuminant D65日光参考颜色分析中更常用
File自定义真实光源需要导入合法光谱文件

当选择 File 时,自定义光谱数据必须满足:

  1. 至少包含数据点。
  2. 波长与强度数组长度一致。
  3. 波长严格递增。
  4. 波长全部大于 0
  5. 强度全部为非负数。

如果文件看起来已导入但验证仍失败,应先检查数据本身,再检查界面设置。

波长范围与光谱覆盖范围

启用入射光谱后,当前波长范围必须落在光谱源的可覆盖区间内:

光谱源可覆盖波长范围
Illuminant A / Illuminant D65300 nm ~ 830 nm
File由导入文件的首尾波长决定

启用入射光谱后,必须满足:

  1. From 不能低于光谱源最小波长。
  2. To 不能高于光谱源最大波长。

这是启用入射光谱后最常见的校验冲突来源。

可见颜色计算

Enable Color Calculation 会增加更严格的波长采样约束。要求如下:

  1. From = 360 nm
  2. To = 780 nm
  3. Step <= 1 nm

因此,颜色计算只适用于可见波段,并要求足够细的采样。

页面中的 Apply Preset 按钮会直接写入 360 / 780 / 1。当目标是颜色分析时,优先使用该预设,而不要手动逐项输入。

椭偏与深度分布

EllipsometryDepth Distribution 都属于更专业的结果组,对当前结构和波长模式有更严格要求。

椭偏结果(Psi / Delta

Ellipsometry 面板只包含两个探测器:PsiDelta。这组探测器的前置条件如下:

条件要求
波长模式不能是 Average
结构相干性当前启用结构中不能存在任何非相干层

只要启用了 PsiDelta,就必须返回 Structure 检查所有启用层是否仍保持相干,包括顶层普通层和启用状态的层组内部层。

深度分布探测器

Depth Distribution 面板包含以下四项:

探测器作用相干结构要求
Poynting Vector能流分布需要
Absorption Density吸收密度分布需要
Electric Field电场分布需要
Refractive Index厚度方向折射率剖面不属于相干深度求解子集,限制更宽

需要明确两点:

  1. Average 模式会禁用整个深度分布组。
  2. 在四个探测器中,真正依赖“全结构相干”的是前三项;Refractive Index 的结构限制相对更宽。

深度分辨率

深度分辨率只有在至少启用了一个相干深度探测器(Poynting VectorAbsorption DensityElectric Field)时才真正成为有效参数。

当前规则是:

  1. 深度分辨率必须 >= 0.1 nm
  2. 深度分辨率必须小于当前启用结构的总厚度。

这里的“总厚度”包括:

  1. 所有启用普通层的厚度总和。
  2. 所有启用 Layer Group 内部层厚度之和,再乘以该层组的重复次数。

因此,分辨率并不是“只要大于零就行”。对于很薄的有效结构,分辨率过大同样会触发验证失败。

工程上建议先使用较粗但合法的分辨率确认趋势,只有在确实需要更高空间分辨率时,再逐步减小。

色散探测器(Dispersion)

Dispersion 区域提供四个探测器,用于表征薄膜堆的相位和群延迟特性:

探测器物理量单位结果页
Phase φ(λ)透射/反射系数的解包裹复相位radPhase
GD(群延迟)相位对角频率的一阶导数fsGroup Delay
GDD(群延迟色散)相位对角频率的二阶导数fs²GDD
DGD(差分群延迟)GD(P) - GD(S)fsDGD

启用条件

色散探测器在 Optics 页面上有最严格的激活条件:

条件要求
波长模式必须为 Sweep
结构相干性所有启用层都必须是相干的(不能有非相干层)
Average 模式不兼容;Average 模式下色散探测器被禁用
若波长模式不是 Sweep,色散探测器的复选框仍然可见但标注 Sweep Only,无法启用。请先切换到 Sweep 模式。

数值质量(Numerical Quality)

GD、GDD 和 DGD 通过数值微分计算。Numerical Quality 设置控制内部采样密度:

质量档位行为
Low最快;对具有尖锐光谱特征的结构,GDD 或 DGD 可能出现噪声
Medium默认;在速度与稳定性之间取平衡
High最密集的网格;最慢但结果通常最稳定

Phase 本身不需要微分运算,不受此设置影响。

稀疏输出警告

如果输出波长点数低于建议阈值,页面会显示警告:

探测器建议最少波长点数
GD10
GDD20
DGD10

增大波长范围或减小步长以获取足够的输出点。

插值建议

启用色散探测器时,面板可能显示折射率插值方法从 Linear 切换到 PCHIPCubicSpline 的建议。提供两个快捷按钮:

  • Use PCHIP Interpolation for Layers — 将所有基于文件的层设置为 PCHIP 插值
  • Use CubicSpline Interpolation for Layers — 将所有基于文件的层设置为 CubicSpline 插值

更平滑的插值可减少 GD 和 GDD 中的数值伪影。理论与使用细节参见色散理论章节和色散结果章节。

常见冲突与运行前检查

本页最常见的错误可归纳如下:

问题典型现象处理方式
Single 模式下找不到入射光谱入射光谱区域消失这是预期行为;如需光谱加权,切回 SweepAverage
入射光谱开关仍禁用想启用但开关是灰的先确认至少启用一个基础探测器,且当前不是 Single
自定义光谱导入后仍报错文件似乎导入成功,但验证失败先检查数据格式,再检查 From / To 是否超出文件覆盖范围
开启颜色计算后多项波长报错From / To / Step 同时失败直接点击 Apply Preset
勾选 Psi / Delta 后验证失败椭偏探测器可选,但底部仍报错返回 Structure,移除所有启用状态的非相干层
深度分辨率为正数仍非法输入为正,但验证失败检查该值是否仍大于或等于当前启用结构总厚度
色散探测器标注 Sweep Only复选框可见但无法启用将波长模式切换为 Sweep
色散探测器报非相干层错误底部显示相干性验证失败返回 Structure,将所有启用层设为相干
锥角之和超出限制验证报告 incidentAngle + halfAngleDeg >= 89.9减小入射角或锥角半角

在点击 Run 或进入下一章前,应完成以下检查:

  1. 当前波长模式与目标分析一致。
  2. 波长参数满足当前模式要求。
  3. 入射角与 pRatio 处于合理范围。
  4. 若启用了锥角,incidentAngle + halfAngleDeg < 89.9
  5. 至少启用了一个探测器。
  6. 若启用了入射光谱,当前波长区间没有超出光谱覆盖范围。
  7. 若启用了颜色计算,360 / 780 / <=1 nm 已满足。
  8. 若启用了椭偏或相干深度探测器,当前结构中不存在启用状态的非相干层。
  9. 若启用了色散探测器,模式为 Sweep 且所有层相干。

基准配置流程

若目标只是完成一次标准频谱计算,建议采用以下基准设置:

  1. 保持 Sweep 模式。
  2. 使用 400 ~ 900 nm,步长 5 nm
  3. 保持入射角
  4. 保持 pRatio = 0.5
  5. 启用 RTA
  6. 暂不启用入射光谱。
  7. 先运行并检查基础结果。

若下一步要做颜色分析:

  1. 启用入射光谱。
  2. 选择 D65 或你的自定义光源。
  3. 开启颜色计算。
  4. 点击 Apply Preset
  5. 再运行并读取光谱与颜色结果。

若下一步要做深度分布:

  1. 先确认 Structure 页没有任何启用状态的非相干层。
  2. 选择 Poynting VectorAbsorption DensityElectric Field
  3. 将深度分辨率设置在合法区间内。
  4. 再运行并读取深度分布结果。

若下一步要做色散分析:

  1. 将波长模式设为 Sweep
  2. 确认 Structure 页没有任何启用状态的非相干层。
  3. 选择 PhaseGDGDDDGD 中的一个或多个。
  4. 根据需要设置 Numerical Quality(默认 Medium 通常足够)。
  5. 如果出现插值建议,考虑应用 PCHIPCubicSpline
  6. 运行并查看色散结果

完成这些后,继续阅读下一章:参数扫描

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