光学参数
Optics 页面用于定义结构的照明条件与输出目标。Structure 决定“算什么结构”,Optics 决定“在什么条件下计算、输出哪些物理量”。只有这两页同时成立,一次计算才具有明确的物理意义。
完成本章后,你应能够:
- 根据任务目标选择
Single、Sweep或Average波长模式。 - 正确设置波长采样、入射角与偏振比。
- 按结果类型选择探测器,而不是无差别全选。
- 正确启用入射光谱,并处理波长范围与光谱覆盖范围的耦合约束。
- 在需要颜色、椭偏或深度分布时,一次性满足对应的前置条件。
- 在点击
Run之前识别本页最常见的参数冲突。
页面职责与推荐顺序
Optics 页面可按职责分为四个部分:
| 区域 | 主要内容 | 作用 |
|---|---|---|
Common Parameters | 波长模式、波长输入、入射角、偏振比 | 定义所有计算的基本照明条件 |
R · T · A | 基础探测器与入射光谱设置 | 定义最常用的能量结果与光谱加权 |
Ellipsometry | Psi、Delta | 定义椭偏结果输出 |
Depth Distribution | 深度探测器与深度分辨率 | 定义厚度方向的场量与能流输出 |

推荐采用以下顺序配置:
- 先确定波长模式。
- 再填写波长参数。
- 再设置入射角与偏振比。
- 再根据目标结果选择探测器。
- 只有在确实需要时,再开启入射光谱、颜色计算或深度分辨率。
- 最后检查底部状态栏,确认参数通过验证后再运行。
这样做的原因是:本页大部分约束都属于“波长模式 + 探测器 + 当前结构”的耦合约束。先固定模式,再选择结果类型,返工最少。
基本照明条件:波长、角度与偏振
Common Parameters 是本页的基础控制区。这里的设置会直接影响后续哪些探测器可用、哪些附加设置会被禁用。
波长模式与采样规则
三种波长模式的差异如下:
| 模式 | 计算方式 | 适用场景 | 关键限制 |
|---|---|---|---|
Single | 只计算一个波长点 | 快速检查某一固定波长 | 不提供入射光谱加权 |
Sweep | 在区间内逐点扫描 | 常规光谱、颜色、椭偏、深度分布 | 最常用,也是大多数结果页的标准模式 |
Average | 在区间内计算平均结果 | 区间平均性能筛选 | 禁用椭偏与整组深度分布探测器 |
对应的输入规则是:
| 模式 | 输入项 | 规则 |
|---|---|---|
Single | Single Wavelength | 必须是大于 0 的有效数值 |
Sweep / Average | From、To、Step | From > 0,To > From,Step > 0 |
工程上可按以下方式使用:
- 只想快速验证一个固定工作点时,使用
Single。 - 需要标准频谱输出时,使用
Sweep。 - 只关心区间平均表现而不关心曲线细节时,使用
Average。
对初次建模而言,Sweep 仍是最稳妥的默认模式。
入射角与偏振比
入射角与 pRatio 决定了光以何种方向和偏振状态照射当前结构。两者都由滑块和数值输入框共同控制,修改任意一端都会同步更新另一端。
| 参数 | 物理含义 | 当前规则 | 使用建议 |
|---|---|---|---|
Incident Angle | 入射角度 | 0° ~ 89.99° | 初次计算先用 0°,再逐步提高做角度敏感性分析 |
pRatio | p 偏振占比 | 0 ~ 1 | 0 = s,0.5 = 非偏振,1 = p |
若没有明确偏振需求,pRatio = 0.5 是最稳妥的基线设置。
基础探测器、入射光谱与颜色计算
R · T · A 面板负责最常用的频谱输出,同时也是入射光谱和颜色计算的前置区域。
基础探测器
基础探测器包括以下四项:
| 探测器 | 对应结果 | 作用 |
|---|---|---|
R | Reflectance | 输出反射率 |
T | Transmittance | 输出透射率 |
A | Absorptance | 输出总吸收率 |
Layer Absorption | Layer Absorption | 输出各层吸收贡献 |

使用建议如下:
- 第一次计算通常至少保留
R、T、A。 - 需要定位哪一层主导吸收时,再启用
Layer Absorption。 - 如果当前只关心某一类结果,没有必要长期保持全选。
入射光谱的启用条件
入射光谱会对基础探测器结果施加光谱权重。它只有在以下两个条件同时满足时才允许启用:
- 当前波长模式不是
Single。 - 至少启用了一个基础探测器(
R、T、A或Layer Absorption)。
只要任一条件不满足,入射光谱开关就会被禁用或隐藏。
入射光谱来源与文件要求
可选光谱源如下:
| 来源 | 适用场景 | 备注 |
|---|---|---|
Illuminant A | 暖色标准光源参考 | 适合标准化对比 |
Illuminant D65 | 日光参考 | 颜色分析中更常用 |
File | 自定义真实光源 | 需要导入合法光谱文件 |
当选择 File 时,自定义光谱数据必须满足:
- 至少包含数据点。
- 波长与强度数组长度一致。
- 波长严格递增。
- 波长全部大于
0。 - 强度全部为非负数。
如果文件看起来已导入但验证仍失败,应先检查数据本身,再检查界面设置。
波长范围与光谱覆盖范围
启用入射光谱后,当前波长范围必须落在光谱源的可覆盖区间内:
| 光谱源 | 可覆盖波长范围 |
|---|---|
Illuminant A / Illuminant D65 | 300 nm ~ 830 nm |
File | 由导入文件的首尾波长决定 |
启用入射光谱后,必须满足:
From不能低于光谱源最小波长。To不能高于光谱源最大波长。
这是启用入射光谱后最常见的校验冲突来源。
可见颜色计算
Enable Color Calculation 会增加更严格的波长采样约束。要求如下:
From = 360 nmTo = 780 nmStep <= 1 nm
因此,颜色计算只适用于可见波段,并要求足够细的采样。
页面中的 Apply Preset 按钮会直接写入 360 / 780 / 1。当目标是颜色分析时,优先使用该预设,而不要手动逐项输入。

椭偏与深度分布
Ellipsometry 和 Depth Distribution 都属于更专业的结果组,对当前结构和波长模式有更严格要求。
椭偏结果(Psi / Delta)
Ellipsometry 面板只包含两个探测器:Psi 和 Delta。这组探测器的前置条件如下:
| 条件 | 要求 |
|---|---|
| 波长模式 | 不能是 Average |
| 结构相干性 | 当前启用结构中不能存在任何非相干层 |
只要启用了 Psi 或 Delta,就必须返回 Structure 检查所有启用层是否仍保持相干,包括顶层普通层和启用状态的层组内部层。
深度分布探测器
Depth Distribution 面板包含以下四项:
| 探测器 | 作用 | 相干结构要求 |
|---|---|---|
Poynting Vector | 能流分布 | 需要 |
Absorption Density | 吸收密度分布 | 需要 |
Electric Field | 电场分布 | 需要 |
Refractive Index | 厚度方向折射率剖面 | 不属于相干深度求解子集,限制更宽 |
需要明确两点:
Average模式会禁用整个深度分布组。- 在四个探测器中,真正依赖“全结构相干”的是前三项;
Refractive Index的结构限制相对更宽。
深度分辨率
深度分辨率只有在至少启用了一个相干深度探测器(Poynting Vector、Absorption Density、Electric Field)时才真正成为有效参数。
当前规则是:
- 深度分辨率必须
>= 0.1 nm。 - 深度分辨率必须小于当前启用结构的总厚度。
这里的“总厚度”包括:
- 所有启用普通层的厚度总和。
- 所有启用
Layer Group内部层厚度之和,再乘以该层组的重复次数。
因此,分辨率并不是“只要大于零就行”。对于很薄的有效结构,分辨率过大同样会触发验证失败。

工程上建议先使用较粗但合法的分辨率确认趋势,只有在确实需要更高空间分辨率时,再逐步减小。
常见冲突与运行前检查
本页最常见的错误可归纳如下:
| 问题 | 典型现象 | 处理方式 |
|---|---|---|
Single 模式下找不到入射光谱 | 入射光谱区域消失 | 这是预期行为;如需光谱加权,切回 Sweep 或 Average |
| 入射光谱开关仍禁用 | 想启用但开关是灰的 | 先确认至少启用一个基础探测器,且当前不是 Single |
| 自定义光谱导入后仍报错 | 文件似乎导入成功,但验证失败 | 先检查数据格式,再检查 From / To 是否超出文件覆盖范围 |
| 开启颜色计算后多项波长报错 | From / To / Step 同时失败 | 直接点击 Apply Preset |
勾选 Psi / Delta 后验证失败 | 椭偏探测器可选,但底部仍报错 | 返回 Structure,移除所有启用状态的非相干层 |
| 深度分辨率为正数仍非法 | 输入为正,但验证失败 | 检查该值是否仍大于或等于当前启用结构总厚度 |
在点击 Run 或进入下一章前,应完成以下检查:
- 当前波长模式与目标分析一致。
- 波长参数满足当前模式要求。
- 入射角与
pRatio处于合理范围。 - 至少启用了一个探测器。
- 若启用了入射光谱,当前波长区间没有超出光谱覆盖范围。
- 若启用了颜色计算,
360 / 780 / <=1 nm已满足。 - 若启用了椭偏或相干深度探测器,当前结构中不存在启用状态的非相干层。
建议的基准配置流程
若目标只是完成一次标准频谱计算,建议采用以下基准设置:
- 保持
Sweep模式。 - 使用
400 ~ 900 nm,步长5 nm。 - 保持入射角
0°。 - 保持
pRatio = 0.5。 - 启用
R、T、A。 - 暂不启用入射光谱。
- 先运行并检查基础结果。
若下一步要做颜色分析:
- 启用入射光谱。
- 选择
D65或你的自定义光源。 - 开启颜色计算。
- 点击
Apply Preset。 - 再运行并读取光谱与颜色结果。
若下一步要做深度分布:
- 先确认
Structure页没有任何启用状态的非相干层。 - 选择
Poynting Vector、Absorption Density或Electric Field。 - 将深度分辨率设置在合法区间内。
- 再运行并读取深度分布结果。
完成这些后,继续阅读下一章:参数扫描。