指南

光学参数

求解参数、光谱设置与计算前校验

Optics 页面用于定义结构的照明条件与输出目标。Structure 决定“算什么结构”,Optics 决定“在什么条件下计算、输出哪些物理量”。只有这两页同时成立,一次计算才具有明确的物理意义。

完成本章后,你应能够:

  1. 根据任务目标选择 SingleSweepAverage 波长模式。
  2. 正确设置波长采样、入射角与偏振比。
  3. 按结果类型选择探测器,而不是无差别全选。
  4. 正确启用入射光谱,并处理波长范围与光谱覆盖范围的耦合约束。
  5. 在需要颜色、椭偏或深度分布时,一次性满足对应的前置条件。
  6. 在点击 Run 之前识别本页最常见的参数冲突。

页面职责与推荐顺序

Optics 页面可按职责分为四个部分:

区域主要内容作用
Common Parameters波长模式、波长输入、入射角、偏振比定义所有计算的基本照明条件
R · T · A基础探测器与入射光谱设置定义最常用的能量结果与光谱加权
EllipsometryPsiDelta定义椭偏结果输出
Depth Distribution深度探测器与深度分辨率定义厚度方向的场量与能流输出

推荐采用以下顺序配置:

  1. 先确定波长模式。
  2. 再填写波长参数。
  3. 再设置入射角与偏振比。
  4. 再根据目标结果选择探测器。
  5. 只有在确实需要时,再开启入射光谱、颜色计算或深度分辨率。
  6. 最后检查底部状态栏,确认参数通过验证后再运行。

这样做的原因是:本页大部分约束都属于“波长模式 + 探测器 + 当前结构”的耦合约束。先固定模式,再选择结果类型,返工最少。

基本照明条件:波长、角度与偏振

Common Parameters 是本页的基础控制区。这里的设置会直接影响后续哪些探测器可用、哪些附加设置会被禁用。

波长模式与采样规则

三种波长模式的差异如下:

模式计算方式适用场景关键限制
Single只计算一个波长点快速检查某一固定波长不提供入射光谱加权
Sweep在区间内逐点扫描常规光谱、颜色、椭偏、深度分布最常用,也是大多数结果页的标准模式
Average在区间内计算平均结果区间平均性能筛选禁用椭偏与整组深度分布探测器

对应的输入规则是:

模式输入项规则
SingleSingle Wavelength必须是大于 0 的有效数值
Sweep / AverageFromToStepFrom > 0To > FromStep > 0

工程上可按以下方式使用:

  1. 只想快速验证一个固定工作点时,使用 Single
  2. 需要标准频谱输出时,使用 Sweep
  3. 只关心区间平均表现而不关心曲线细节时,使用 Average

对初次建模而言,Sweep 仍是最稳妥的默认模式。

入射角与偏振比

入射角与 pRatio 决定了光以何种方向和偏振状态照射当前结构。两者都由滑块和数值输入框共同控制,修改任意一端都会同步更新另一端。

参数物理含义当前规则使用建议
Incident Angle入射角度0° ~ 89.99°初次计算先用 ,再逐步提高做角度敏感性分析
pRatiop 偏振占比0 ~ 10 = s0.5 = 非偏振1 = p

若没有明确偏振需求,pRatio = 0.5 是最稳妥的基线设置。

基础探测器、入射光谱与颜色计算

R · T · A 面板负责最常用的频谱输出,同时也是入射光谱和颜色计算的前置区域。

基础探测器

基础探测器包括以下四项:

探测器对应结果作用
RReflectance输出反射率
TTransmittance输出透射率
AAbsorptance输出总吸收率
Layer AbsorptionLayer Absorption输出各层吸收贡献

使用建议如下:

  1. 第一次计算通常至少保留 RTA
  2. 需要定位哪一层主导吸收时,再启用 Layer Absorption
  3. 如果当前只关心某一类结果,没有必要长期保持全选。

入射光谱的启用条件

入射光谱会对基础探测器结果施加光谱权重。它只有在以下两个条件同时满足时才允许启用:

  1. 当前波长模式不是 Single
  2. 至少启用了一个基础探测器(RTALayer Absorption)。

只要任一条件不满足,入射光谱开关就会被禁用或隐藏。

入射光谱来源与文件要求

可选光谱源如下:

来源适用场景备注
Illuminant A暖色标准光源参考适合标准化对比
Illuminant D65日光参考颜色分析中更常用
File自定义真实光源需要导入合法光谱文件

当选择 File 时,自定义光谱数据必须满足:

  1. 至少包含数据点。
  2. 波长与强度数组长度一致。
  3. 波长严格递增。
  4. 波长全部大于 0
  5. 强度全部为非负数。

如果文件看起来已导入但验证仍失败,应先检查数据本身,再检查界面设置。

波长范围与光谱覆盖范围

启用入射光谱后,当前波长范围必须落在光谱源的可覆盖区间内:

光谱源可覆盖波长范围
Illuminant A / Illuminant D65300 nm ~ 830 nm
File由导入文件的首尾波长决定

启用入射光谱后,必须满足:

  1. From 不能低于光谱源最小波长。
  2. To 不能高于光谱源最大波长。

这是启用入射光谱后最常见的校验冲突来源。

可见颜色计算

Enable Color Calculation 会增加更严格的波长采样约束。要求如下:

  1. From = 360 nm
  2. To = 780 nm
  3. Step <= 1 nm

因此,颜色计算只适用于可见波段,并要求足够细的采样。

页面中的 Apply Preset 按钮会直接写入 360 / 780 / 1。当目标是颜色分析时,优先使用该预设,而不要手动逐项输入。

椭偏与深度分布

EllipsometryDepth Distribution 都属于更专业的结果组,对当前结构和波长模式有更严格要求。

椭偏结果(Psi / Delta

Ellipsometry 面板只包含两个探测器:PsiDelta。这组探测器的前置条件如下:

条件要求
波长模式不能是 Average
结构相干性当前启用结构中不能存在任何非相干层

只要启用了 PsiDelta,就必须返回 Structure 检查所有启用层是否仍保持相干,包括顶层普通层和启用状态的层组内部层。

深度分布探测器

Depth Distribution 面板包含以下四项:

探测器作用相干结构要求
Poynting Vector能流分布需要
Absorption Density吸收密度分布需要
Electric Field电场分布需要
Refractive Index厚度方向折射率剖面不属于相干深度求解子集,限制更宽

需要明确两点:

  1. Average 模式会禁用整个深度分布组。
  2. 在四个探测器中,真正依赖“全结构相干”的是前三项;Refractive Index 的结构限制相对更宽。

深度分辨率

深度分辨率只有在至少启用了一个相干深度探测器(Poynting VectorAbsorption DensityElectric Field)时才真正成为有效参数。

当前规则是:

  1. 深度分辨率必须 >= 0.1 nm
  2. 深度分辨率必须小于当前启用结构的总厚度。

这里的“总厚度”包括:

  1. 所有启用普通层的厚度总和。
  2. 所有启用 Layer Group 内部层厚度之和,再乘以该层组的重复次数。

因此,分辨率并不是“只要大于零就行”。对于很薄的有效结构,分辨率过大同样会触发验证失败。

工程上建议先使用较粗但合法的分辨率确认趋势,只有在确实需要更高空间分辨率时,再逐步减小。

常见冲突与运行前检查

本页最常见的错误可归纳如下:

问题典型现象处理方式
Single 模式下找不到入射光谱入射光谱区域消失这是预期行为;如需光谱加权,切回 SweepAverage
入射光谱开关仍禁用想启用但开关是灰的先确认至少启用一个基础探测器,且当前不是 Single
自定义光谱导入后仍报错文件似乎导入成功,但验证失败先检查数据格式,再检查 From / To 是否超出文件覆盖范围
开启颜色计算后多项波长报错From / To / Step 同时失败直接点击 Apply Preset
勾选 Psi / Delta 后验证失败椭偏探测器可选,但底部仍报错返回 Structure,移除所有启用状态的非相干层
深度分辨率为正数仍非法输入为正,但验证失败检查该值是否仍大于或等于当前启用结构总厚度

在点击 Run 或进入下一章前,应完成以下检查:

  1. 当前波长模式与目标分析一致。
  2. 波长参数满足当前模式要求。
  3. 入射角与 pRatio 处于合理范围。
  4. 至少启用了一个探测器。
  5. 若启用了入射光谱,当前波长区间没有超出光谱覆盖范围。
  6. 若启用了颜色计算,360 / 780 / <=1 nm 已满足。
  7. 若启用了椭偏或相干深度探测器,当前结构中不存在启用状态的非相干层。

建议的基准配置流程

若目标只是完成一次标准频谱计算,建议采用以下基准设置:

  1. 保持 Sweep 模式。
  2. 使用 400 ~ 900 nm,步长 5 nm
  3. 保持入射角
  4. 保持 pRatio = 0.5
  5. 启用 RTA
  6. 暂不启用入射光谱。
  7. 先运行并检查基础结果。

若下一步要做颜色分析:

  1. 启用入射光谱。
  2. 选择 D65 或你的自定义光源。
  3. 开启颜色计算。
  4. 点击 Apply Preset
  5. 再运行并读取光谱与颜色结果。

若下一步要做深度分布:

  1. 先确认 Structure 页没有任何启用状态的非相干层。
  2. 选择 Poynting VectorAbsorption DensityElectric Field
  3. 将深度分辨率设置在合法区间内。
  4. 再运行并读取深度分布结果。

完成这些后,继续阅读下一章:参数扫描

Copyright © 2026 Dreapex